一种以复合二氧化钛薄膜为电介质的电容器制备方法 审中
申请号：201110057643.6 申请日：2011-03-10
摘 要 本发明公开了一种以复合二氧化钛薄膜为电介质的电容器制备方法,包括下列步骤:在所需制备薄膜电容器的衬底上,依次镀制下部电极、电介质薄膜、上部电极;其中,电介质薄膜的镀制包括,提供一真空腔体,该真空腔体内设有氧化钇与二氧化钛复合靶材、具有下部电极的衬底,所述复合靶材为将片状的氧化钇设置在二氧化钛靶材表面而成;通入氧气体积含量在0.1～20%范围的氧气和氩气的混合气体,工作气压0.2～2Pa;采用磁控溅射方法,形成Y2O 3-TiO2复合薄膜层。本发明提高了电介质薄膜的平整致密度,防止出现多孔结构、引起电流泄漏,提高了介电特性简化电介质薄膜的制造工艺、有利于实现流水式的连续生产,提高产品的生产效率。